ベローズポンプ/BDシリーズ
耐蝕・耐薬品性に高い性能
液洩れのない構造です。 軽量、小型、構造が簡単です。 ドライ運転OK、自吸使用も可能です。 特殊成型のベローズと堅牢な駆動機構により耐久性がよく長期の連続運転にも高い耐久性です。 吐出量調節はポンプ停止中に10〜100%の範囲で可能です。
- 企業:東栄株式会社
- 価格:応相談
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耐蝕・耐薬品性に高い性能
液洩れのない構造です。 軽量、小型、構造が簡単です。 ドライ運転OK、自吸使用も可能です。 特殊成型のベローズと堅牢な駆動機構により耐久性がよく長期の連続運転にも高い耐久性です。 吐出量調節はポンプ停止中に10〜100%の範囲で可能です。
100%プラスティックによりイオンコンタミを排除したポンプ
【特長】 ◆金属部品一切なし。100%樹脂製。 ◆自吸性あり。高吸込揚程。 ◆処理液温度範囲:0℃〜160℃ ◆メンテナンスが極めて容易。所要時間は30分以内。 ◆ポンプの駆動源はドライエアー、または窒素。 ※詳細は『資料請求』まで
金属汚染の心配なし!接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)
薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の3機種。